法政大学小金井キャンパス内

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　イオンとは、ヘリウムのような原子や酸素のような分子が正、または負に帯電した粒子で、これが1つの束となってある方向に一定の速度で流れているものがイオンビームです。イオンビームは、流れる量、方向、速度を自由にかつ容易に制御できる特徴があります。この特徴を生かして、イオンビームを半導体を中心とする電子材料の分野で利用する技術が急速に発達しています。本学では今後さらに利用されると見込まれるイ オンビーム技術の研究を進めるために、昭和55年に本学創立100周年の記念事業の一環としてイオンビーム工学研究所を設立しました。

 

最終更新日　： 2012年5月9日